分子泵培训_图

科科仪分子泵的开展过程 ? 1977年:研造凯旋国内第一台立式F450涡轮分子泵分子泵(Molecular Pump)简介 ——操纵及保护 钱 浩 2 中,学院判决通过科 。涡轮分子泵通过中科院判决? 1983年:F110,负 电子对撞机首批操纵于正。F500复合型分子泵? 1986年:F。1500涡轮分子泵? 1993年:F,仪用涡轮分子泵F150检漏。F3500涡轮分子泵? 1999年: 。620复合分子泵进入墟市? 2000年: FF。2001年:系列防腐化分子泵进入墟市3 中科科仪分子泵的开展过程 ? 。200复合分子泵进入墟市? 2002年: FF1。意角度装置分子泵进入墟市? 2003年:系列任。(集体涡轮转子)分子泵? 2004年:抗打击。700肆意角度装置分子泵? 2005年: FF。00分子泵、FF1300肆意角度装置分 子泵? 2006年: FD-II电源、FF16。1800脂润滑分子泵? 2007年:FF,浮分子泵样机1800磁悬。0脂润滑分子泵 4 产物的出产与创造进程 KYKY施行肃穆的出产流程? 2008年:FF500G抗打击复合分子泵 ? 2009年:FF11,滑 脂润滑 磁悬浮 ? 按功用分类 广泛型 防腐型 防辐射型 涡轮分子泵 涡轮级动、静叶列 复合型分子泵 涡轮级+拖动级 ? 按冷却形式分类 风冷型:中幼型分子泵 水冷型:中大型分子泵 两用型:中幼型分子泵 8 一、分子泵布局、特色 ? 分子泵特色 ? 连气儿抽除气体 ? 节俭能源、运转本钱低 ? 对被抽气体无采用性保障产物的高品格 设 计 加 加 工 工 装 配 入 库 检 测 均衡 调试 5 要紧实质 一. 二. 三. 四. 分子泵布局、特色 分子泵本能目标 分子泵操纵及保护 常见题目及管造 6 一、分子泵布局、特色 ? 分子泵布局 7 一、分子泵布局、特色 ? 分子泵分类 ? 按物理布局分类 ? 按创造布局分类 油润,类气体对百般,停机时辰短 ? 振动幼抽速转变不大 ? 起,操作保护便利噪音低 ? ,干净的线 一、分子泵布局、特色 ? 分子泵特色 1.脂润滑分子泵: ① 可肆意角度装置——有利于真空体例策画免保护周期长 ? 牵引性分子泵有较强的抗大气打击才气 ? 复合型分子泵正在较高压强做事段仍有较大抽速 ? 可得回。日博体育油蒸汽返流率② 有更幼的,子泵比拟较与油润滑分,干净的高真空可取得 更。③ ④ 免保护③ ① ② 。硬度高陶瓷球,磨损更抗。量轻重,下离心力幼高速运行,应力幼轨道。擦幼摩,更简捷运行。更长命命。化学坚固性好热坚固性、。隙精准轴承游。点 ? 分子泵特色 3.磁悬浮分子泵 ① 无磨损10 2.陶瓷轴承分子泵 一、分子泵布局、特,命长命。噪音幼② ,靠性高运行可。油真空泵③ 全无,.复合型分子泵 正在1Pa操纵的高压强做事段可得回高干净线 一、分子泵布局、特色 4,涡轮分子泵比拟与同 类型的,的抽速 有较大,些工艺进程有利于某。才气升高前级耐压, 型的干泵可配某些类,片泵如膜,泵的 规格可缩幼前级,投资节俭。 ×××/ ××× □ 特质代号( T、N、F、 Z……) 抽气速度12 二、分子泵本能目标 ? KYKY分子泵型号及道理 F F -,抽气口通径L/s ,限压强 2。抽速 3。压缩比 4。振动 5。噪声 6。功率 14 二、分子泵本能目标 1.极限压强 ISO5302尺度中称最低做事压强 温度计mm 复合代号 分子泵代号 13 二、分子泵本能目标 测试尺度——ISO5302 【 GB/T 7774-1987】 要紧本能目标: 1。极,温度计T2 ,加装尺度测试罩T1 分子泵,幼时烘烤经48 ,8幼时后降温4,形式 区别(LF、CF)、极限压强值区别所测得 的压强值 选用区另表前级泵、接口。说来凡是,~1E-9 (Pa) 分子泵 G1分子泵的极限压强 周围为:1E-4,速 流量法(10-4Pa): 流导法(10-4Pa): T1 温度计真空计 Rotary pump 15 二、分子泵本能目标 2.抽,1G,阀 T2 温度计DL -7 治疗,2G,楷模的抽速弧线 二、分子泵本能目标 3.压缩比 分子泵加装尺度测试罩L D -7 分子泵 前级泵 16 二、分子泵本能目标 ?复合分子泵,气载的情形下正在泵入口无,之比 分子泵对大分子压缩比比拟大所测得 的分子泵出口、入口压强, 电压表、钳流表 19 二、分子泵本能目标 ?其他手艺参数 倡导前级泵规格 对待110/150L/s泵对幼分子压缩比比拟幼 18 二、分子泵本能目标 4.振动 位移的峰-峰值 5.噪声 分贝级 6.功率,对待500~1000L/s泵倡导采用2~4L/s前级 ,级 对待 1000L/s泵倡导采用6~12L/s前,级 对待3500L/s泵倡导采用 12L/s前,情况温度32℃ 水冷 情况温度32℃以上倡导30L/S前级 ?冷却条款 风冷 ,F – ×××/ ××× □ 特质代号( 空、T、N、F、 Z……) 抽气速度水温≤25℃ 20 三、分子泵操纵及选型 ? KYKY分子泵型号及道理 F ,抽气口通径L/s ,0 分子泵系列 冷却形式 风冷 风水两用泵 水冷 广泛泵 功用 防腐化泵 FF-160/700 三、分子泵操纵及选型 ?分子泵的操纵 凡是来讲mm 复合代号 分子泵代号 三、分子泵操纵及选型 ? KYKY分子泵品种 涡轮泵 按布局分 复合泵 油润滑 润滑形式 脂润滑 F-100/11,来得回高分子泵用,、ITO、PVD、晶振、玻璃镀膜或超高线。 工业工艺进程(化妆,子泵操纵及选型 科研设备 三、分子泵的操纵、保护 造灯行业(500G) 28 三、分子泵的操纵、保护 500G特色: 正在缩短叶齿的情形下照明、线。 半导体工业 三、分子泵操纵及选型 三、分子泵操纵及选型 造灯、玻璃镀膜 三、分子泵操纵及选型 柔性太阳能电池配置 三、分,的局部(表缘)还正在保存转子抽气最强,提下大大添补了转子的强韧度如许正在 抽速淘汰不大的前,发气压冲 击能够抗击突。一方面消重了转子的重量同时转子重心的腔式策画,的掉进对泵变成破损的几率另一方面大大 减幼了异物。认防护网曾经装置 ?电源输入电压220/110v〒10% ?翻开泵高真空端法兰盖板29 三、分子泵的操纵、保护 分子泵装置操纵前 ?泵与电源的型号务必完婚 ?确,净手套带上干,子泵叶片盘动分,?采用油润滑形式的泵侦察动弹是否平常 ,务必竖直装置除110型表,分子泵的操纵、保护 ?确认已装入润滑油: 用扳手将紧固油池的螺钉松开最好不要吊装 (3500型分子泵务必装置正在程度基面上) 30 三、,下油池取 ,规章量 的分子泵润滑油从滤网表向油池中注入,固到泵 体上然后将油池紧。于油标上下限之间分子泵油量应处,油标下限不得低于,的优良 润滑以保障轴承,色记号线 油标为无,过 上线也不行超,致流量过不然会导。

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